電磁閥是用電磁控制的工業(yè)設(shè)備，是用來控制流體的自動化基礎(chǔ)元件，屬于執(zhí)行器，并不限于液壓、氣動。用在工業(yè)控制系統(tǒng)中調(diào)整介質(zhì)的方向、流量、速度和其他的參數(shù)。電磁閥可以配合不同的電路來實現(xiàn)預(yù)期的控制，氦檢設(shè)備而控制的精度和靈活性都能夠保證。電磁閥有很多種，不同的電磁閥在控制系統(tǒng)的不同位置發(fā)揮作用，常用的是單向閥、安全閥、方向控制閥、速度調(diào)節(jié)閥等。

　　由于半導(dǎo)體工業(yè)上用的氣體如硅烷, 氨氣等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對所用的閥及相關(guān)部件, 漏率要求非常嚴(yán)格, 要求成品漏率低于5-10 mbar l / s, 而這樣的漏率要求也只有氦檢設(shè)備能達(dá)到了。所以對于電磁閥的檢漏，氦檢設(shè)備是較好的選擇!

　　電磁閥閥芯需要檢漏

　　客戶生產(chǎn)的電磁閥閥芯, 經(jīng)過鐳射焊接后, 懷疑焊縫存在微小的泄漏, 單個閥芯漏率需要低于 5-10 mbar l / s.

　　電磁閥閥芯檢漏方法

　　來料先用放大鏡目視檢測, 閥芯鐳射焊接完成后再目視檢測, 用氦檢設(shè)備檢漏, 漏率值以氦檢設(shè)備檢測的數(shù)據(jù)作為標(biāo)準(zhǔn).

　　電磁閥閥芯檢漏操作說明

　　1. 先將閥接入工裝, 形成一個密閉的腔體. 再將氦檢設(shè)備連接到工裝上.

　　2. 啟動氦檢設(shè)備, 真空模式下,設(shè)置漏率值 5-10 mbar l / s, 氦檢設(shè)備開始抽取密閉腔體中的氣體, 同時顯示一個漏率值.

　　3. 在電磁閥鐳射焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣, 同時觀察氦檢設(shè)備上顯示的漏率值有無變化.

　　4. 如果漏率值上升, 說明噴氦氣的地方有漏, 該被檢對象品質(zhì)不合格. 如果漏率值能達(dá)到要求, 該被檢物件合格, 檢漏檢測完成.

　　電磁閥閥芯檢漏方法-負(fù)壓法

　　1、先將閥接入工裝，形成一個密閉的腔體，再將氦檢設(shè)備連接到工裝上。

　　2、啟動氦檢設(shè)備， 氦檢設(shè)備開始抽取密閉腔體中的氣體，同時顯示一個漏率值。

　　3、在激光焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣，同時觀察氦檢設(shè)備上顯示的漏率值有無變化。

　　4、如果漏率值上升，說明噴氦氣的地方有漏，該被檢對象質(zhì)量不合格。如果漏率值能達(dá)到要求，該被檢對象合格，檢漏檢測完成。

　　正確的選擇氦檢設(shè)備和檢漏方法、不僅能夠獲得可靠準(zhǔn)確檢測數(shù)據(jù)，而且能夠大大降低生產(chǎn)檢測成本。氦檢設(shè)備在電磁閥檢漏上的應(yīng)用具有重要意義，電磁閥的性能指標(biāo)有了量化的考評，對提升電磁閥產(chǎn)品質(zhì)量具有推動性作用。